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详细介绍
特点：
▪ 全晶圆压印 - PL600适用于6英寸晶圆处理, PL400适用于4英寸晶圆处理
▪ 低于10纳米分辨率，产率高达99％
▪ 一步自动释放功能，可防止分离过程中模具/基材损坏，使压印产量增大
▪ 支持各种类型的硬模和软模
▪ 可变模具和基材尺寸，灵活方便
▪ 可编程PLC，通过自定义参数进行过程控制，带触摸屏用户界面
▪ 对准功能选项
▪ 多种工艺，适用于各种应用光学器件，显示器，数据存储，生物医学器件，半导体IC，化学合成和先进材料等
▪ 专有的紫外线固化纳米压印抗蚀剂对硬度或厚度没有限制，并且与传统的光刻工艺兼容
PL600
基材尺寸，6“标准（尺寸较小，形状不规则）
印记区： 与晶圆尺寸相同。
模板尺寸 6”,4” ,2” and 1”
压印压力: 1 psi标准
模具/基材自动释放: 包括 - 不需要特殊工具
紫外线曝光时间:在95％强度水平下2-3分钟
对准功能: x，y，z和theta（精度2um）
产品咨询
联系人：叶盛
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