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美国PIE等离子清洗机

型    号:Tergeo
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一、美国PIE等离子清洗机应用
等离子清洗机清除样品表面的污染物,去除光阻胶:产生表面活性功能组;
清洗提高材料表面亲水性及疏水性,清洗生物芯片、微流控芯片,PDMS;
表面活化:渲染表面的亲水性或疏水性,键合和沉积前的表面预处理
表面聚合:沉积带官能分子团的聚合物,移植聚合物到活化后的材料表面;
表面改性:在材料表面产生官能分子团,高分子材料表面修饰;
去除表面残留微生物,医疗器械的消毒和

美国PIE等离子清洗机产品概述:

二、美国PIE等离子清洗机的特点

113.56MHz高频射频发生器;

27英寸触摸屏控制界面,全自动操作;

3、标配75W版本,可选150W版本;

4、系统具有双等离子源。浸入式等离子源用于主动表面处理、光刻胶蚀刻。远程式等离子源用于温和的污染清除以及脆弱易损样品的表面活化。

 

三、美国PIE等离子清洗机技术参数

1、控制系统

1)操作界面:7英寸电阻触摸屏操作界面,支持多种工作方式。

2)程序控制:可编程,总共有20个程序,每个程序有3个清洁步骤。

2、反应腔体

1)腔体材质:圆柱形石英玻璃舱;

2)腔体容积:2.6L

3)腔体尺寸:内径:110毫米,深度:280毫米。

3、射频电源

1)射频频率:13.56MHz

2)射频功率:标配0~75W;从0瓦到75瓦之间以1瓦间距连续可调,可选0~150W;。

4、等离子源

1)等离子强度探测器实时测量等离子源强度。

2)外置电极设计,高压电极不合等离子接触以避免金属溅射造成的样品污染。

5、气体控制

1)气路控制:标配一路MFC;可选配三路MFC

2)质量流量计可以在0~100sccm之间准确控制气体流量;

3)一路(Venting and purging)气体入口用来快速给样品室放气和冲走残余处理气体。

产品相关关键字: 基本型等离子 扩展型等离子清洗机 等离子体表面处理 Plasma Cleaner 等离子清洗机系统

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