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SPIN德国匀胶机

简要描述:SPIN德国匀胶机(英文名:Spin Coater)适合半导体硅片的匀胶镀膜
详细介绍:匀胶机(英文名:Spin Coater& Spin Processor)
行业俗称:匀胶台、甩胶机、旋涂仪、涂胶机、镀膜机、涂层机

  • 产品型号:SPIN150i
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2020-09-09
  • 访  问  量:1393

详细介绍

一、产品概述:
    SPIN德国匀胶机150i型适应于半导体、化工材料、硅片、晶片、基片、导电玻璃等工艺,制版的表面涂覆。MYCRO的SPIN系列匀胶机具有稳定的转速和快速的启动,可以保证半导体中胶厚度的*性和均匀性,这正是SPIN150i型匀胶机的特点。
二、匀胶机工作原理:
    SPIN德国匀胶机150i型(spin coater)的工作原理是高速旋转基片,利用离心力使滴在基片上的胶液均匀的涂在基片上,匀胶机常用于各种溶胶凝胶(Sol-Gel)实验中的薄膜制作,厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同,也和旋转速度及时间有关。
三、匀胶机主要性能指标:
1、腔体直径:8英寸 (202 毫米);
2、Wafer芯片尺寸:10-160mm直径的材料,4英寸方片;
3、转速范围: 1~12000RPM**,±1rpm steps;
4、加速度:30000RPM/S;
5、转速精度: ±0.1rpm;
6、程序段数:无限制;
7、操作步数:无限制;
8、旋转时间:无限制*,±0.1 Second steps;
9、旋转方向:顺时针,逆时针,交换摆动;
10、扩展接口:1个USB接口;
11、马达保护:20-50kPa,2-5l/min,Tube OD Ø 6mm(可关闭);
12、排废连接:1” M-NPT;
13、触屏控制:全彩触摸屏控制界面;

 

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