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原子层沉积系统
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Plasmionique支持 CVD / ALD / PECVD / RIE ,加拿大进口桌面式设备,模块化设计,可支持ALD原子层沉积,CVD化学气相沉积,PECVD等离子体增强化学气相沉积和RIE反应离子刻蚀。
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