德国进口接触角测量仪

光刻材料（如光刻胶和显影液）的表面张力对光刻工艺本身具有重要影响。例如，旋涂均匀性、平面化和附着力直接取决于材料的表面张力。同样，涂层的表面自由能（SFE）也与此密切相关。

通过接触角测量，可以研究半导体技术中使用的基板和涂层的表面自由能（SFE）。测量接触角能够帮助您快速优化新工艺步骤，并更好地标准化现有工艺。晶圆表面性质的微小变化会表现为接触角的显著且易于检测的改变。投入少量时间测量接触角，可以通过避免后续生产问题获得回报。为了降低缺陷密度并实现光刻胶结构的微小特征尺寸（<1μm），良好的光刻胶附着力至关重要。借助接触角测量，您可以轻松控制附着力。

德国进口接触角测量仪SURFTENS HL 200 的特点

接触角测量系统 SURFTENS HL 200 专为半导体行业和研究设计，尤其适用于硅晶圆表面处理的工艺控制。它是研究晶圆接触角和润湿性的理想工具。SURFTENS HL 200 能够满足对硅晶圆润湿性快速、高精度且便捷的测量需求。

SURFTENS HL 200 的突出特性包括：

• 紧凑省空间、封闭式机械基础结构  

• 高质量固定焦距测量物镜  

• USB摄像头  

• 所有组件集成于封闭外壳内，防止错位  

• 可调均匀高亮LED照明  

• 特氟龙涂层晶圆台（直径200mm）  

• 晶圆台手动x轴和φ轴定位  

• 支持真空镊子放置晶圆  

• 晶圆台行程：100mm  

• 晶圆台旋转角度：360°  

此结构可测量晶圆表面任意点。晶圆台的手动x轴和φ轴配备刻度，便于定位到指定位置。

滴液系统调节功能：  

• 手动z轴调节针头高度  

• 手动y轴调节针头居中  

• 手动x轴调节针头对焦  

滴液系统配置选项：  

• 1套手动直滴系统  

• 2套手动直滴系统  

• 1套软件控制自动直滴系统  

• 2套软件控制自动直滴系统  

• 1套手动+1套自动直滴系统组合  

自动测量功能实现最高精度

通过手动或自动直滴系统生成测试液滴（通常为去离子水）。液滴图像以高清实时视频形式立即呈现在电脑屏幕上，单次按键即可启动测量。软件自动计算接触角，并同步显示图形化结果与数值数据。仅需1秒的快速测量可避免误差。德国进口接触角测量仪SURFTENS HL 200 将高重复性、测量精度与操作便捷性结合。

技术参数

滴液系统  

最小液滴体积：0.2μl  

滴液分辨率/精度：0.1μl（水）  

注射器：玻璃或一次性鲁尔锁注射器  

接触角测量精度  

分辨率：0.01°  

重复性：±0.1°（实时视频）  

精度：±0.1°  

软件  

操作系统：Windows