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德国osiris去边机:EBR

简要描述:德国osiris去边机:EBR,对半导体晶圆进行去边处理,去除晶圆边缘的不良部分,去除氧化层、清洁表面等,以提高晶圆的质量和加工性能。

  • 产品型号:UNIXX EBR A20
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2024-04-16
  • 访  问  量:117

详细介绍

德国osiris去边机:EBR,对半导体晶圆进行去边处理,去除晶圆边缘的不良部分,去除氧化层、清洁表面等,以提高晶圆的质量和加工性能。

一般应用于半导体行业,对晶圆进行边缘去除处理,确保晶圆边缘的平整和清洁,以提高晶圆的加工质量和精度。或者是光伏产业,对硅片进行边缘去除处理,确保硅片的表面质量,提高太阳能电池的转换效率。

除了半导体和光伏产业,EBR去边机还在其他领域有应用,如集成电路封装、传感器制造、医疗器械等领域,用于对各种基板和器件进行边缘处理。

smartEBR 用于清洁扁平或缺口晶圆的边缘。


UNIXX EBR A20

(200x200mm) 独立的smartEBR系统。(单底座)




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