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详细介绍
德国osiris去边机：EBR，对半导体晶圆进行去边处理，去除晶圆边缘的不良部分，去除氧化层、清洁表面等，以提高晶圆的质量和加工性能。
一般应用于半导体行业，对晶圆进行边缘去除处理，确保晶圆边缘的平整和清洁，以提高晶圆的加工质量和精度。或者是光伏产业，对硅片进行边缘去除处理，确保硅片的表面质量，提高太阳能电池的转换效率。
除了半导体和光伏产业，EBR去边机还在其他领域有应用，如集成电路封装、传感器制造、医疗器械等领域，用于对各种基板和器件进行边缘处理。
smartEBR 用于清洁扁平或缺口晶圆的边缘。
UNIXX EBR A20
（200x200mm） 独立的smartEBR系统。（单底座）
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