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德国osiris匀胶机:SPIN COATING

简要描述:德国osiris匀胶机:SPIN COATING,应用于匀胶工艺的设备,具有CCP(夹具密封工艺)的匀胶技术和可选的烘烤热板,适用于实验室开展科学研究、技术开发和企业小批量多品种生产。设备具有多选项(例如可编程滴胶臂)并且可以升级成自动化的系统达到更高的片到片工艺重复性。

  • 产品型号:UNIXX-SERIES
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2024-04-16
  • 访  问  量:192

详细介绍

Osiris匀胶机

用于处理单晶圆的系统,具有用于半导体和微系统技术的定制基板加工选项。


旋涂机 - CCP

设计用于以下应用:

带盖卡盘处理器 (CCP) 的旋转涂层


1.UNIXX S760+

(21x21 英寸)独立系统

用于大型基材的旋涂机。


2.UNIXX SA30+

(Ø300毫米)独立系统

带盖卡盘旋涂机。(单底座)


3. UNIXX SHp22+

(直径200mm)独立系统

有盖卡盘旋涂机和加热板模块。


旋涂机 - 开式转鼓

设计用于以下应用:

带开口碗的旋转涂层,用于标准涂层。


1.UNIXX SA30

(Ø300毫米)独立系统

开式转鼓旋涂布机。(单底座)


2. UNIXX SHe22

(直径200mm)独立系统

开碗旋涂机和加热板模块。






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