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薄膜厚度监测仪

型    号:MTM-10 &MTM-20
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MTM-10 &MTM-20 高分辨率薄膜厚度监视器
仅适用于Cressington Sputter和Carbon Coaters
高分辨率厚度监视器和厚度控制器基于以下原理:石英晶体的振荡频率由其上表面上的沉积膜的质量改变。电子测量该效果允许确定沉积膜的厚度。一旦将蒸发的材料的密度输入系统,就在范围为0-999.9纳米的四位LED显示器上测量厚度为0.1nm的分辨率。

薄膜厚度监测仪产品概述:

MTM-10 &MTM-20 高分辨率薄膜厚度监视器
仅适用于Cressington Sputter和Carbon Coaters


高分辨率厚度监视器和厚度控制器基于以下原理:石英晶体的振荡频率由其上表面上的沉积膜的质量改变。电子测量该效果允许确定沉积膜的厚度。一旦将蒸发的材料的密度输入系统,就在范围为0-999.9纳米的四位LED显示器上测量厚度为0.1nm的分辨率。

 

MTM-10高分辨率厚度监视器

确保厚度控制的经济方法
如果不是不可能的话,在沉积期间精确地手动控制膜厚度是困难的。有时使用带有一滴油的白色瓷砖来粗略估计碳的涂层厚度,但是当需要重复的,可再现的涂层时不能使用。使用仪器设置也不是一种准确的方法,因为真空水平(用于溅射)和时间(用于蒸发)是非常关键的参数。高分辨率厚度监视器提供涂层厚度的可重复性,消除猜测并且方便。使用加工因子可以精确测量薄膜。
MTM-10高分辨率厚度监测仪适用于任何Cressington溅射和碳涂层系统。

系统包括:

MTM-10控制器盒

BNC电缆/ BNC弯头

振荡器盒

CS-108真空馈通,带BNC / SMB连接器和集成O形密封圈

水晶支架电缆7“/ 108mm
水晶支架,M4螺钉尺寸ø19x20mm高。水晶面积ø6mm

 

 

 

MTM-20高分辨率厚度控制器

MTM-20高分辨率厚度控制器专为Cressington溅射涂布机系统设计,与108auto108auto / SE208HR溅射涂布机系统完全兼容。

 

 

MTM-10高分辨率厚度监视器和
MTM-20高分辨率厚度监视器规格
一般规格:基于微处理器的4位数显示,按钮为零
6MHz晶振,带有寿命检查
每秒5次更新率
厚度范围:0 999.9nm(POS / NEG
解析度:0.1nm用于金或碳
密度范围:30.00g / CC 0.50
工具系数范围:0.25 - 8.0
真空馈通:CS 108;直径10mm,板材/法兰厚度为9mm
水晶架:不锈钢ø19x20mmM4螺纹孔,用于安装,1/2“尺寸的晶体
水晶架电缆:Mini-SMB,母/母之间的水晶支架和CS-108真空穿通装置
处理器功能:对于MTM-10MTM20,四组值可以存储在密度下的存储器中,四组可以存储在工具下
MTM-20控制器:仅限MTM-20:可编程厚度端接功能,带终端接口电缆,108自动,208HRDC-100
终端设备范围为0-999.9nm
MTM-10/20盒尺寸210 x 160 x 77毫米(8.27英寸x 6.3英寸x 3.03英寸)
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