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薄膜厚度监测仪

型    号：MTM-10 ＆MTM-20
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MTM-10 ＆MTM-20 高分辨率薄膜厚度监视器
仅适用于Cressington Sputter和Carbon Coaters
高分辨率厚度监视器和厚度控制器基于以下原理：石英晶体的振荡频率由其上表面上的沉积膜的质量改变。电子测量该效果允许确定沉积膜的厚度。一旦将蒸发的材料的密度输入系统，就在范围为0-999.9纳米的四位LED显示器上测量厚度为0.1nm的分辨率。

薄膜厚度监测仪产品概述：

MTM-10 ＆MTM-20 高分辨率薄膜厚度监视器
仅适用于Cressington Sputter和Carbon Coaters


高分辨率厚度监视器和厚度控制器基于以下原理：石英晶体的振荡频率由其上表面上的沉积膜的质量改变。电子测量该效果允许确定沉积膜的厚度。一旦将蒸发的材料的密度输入系统，就在范围为0-999.9纳米的四位LED显示器上测量厚度为0.1nm的分辨率。

 

MTM-10高分辨率厚度监视器

确保厚度控制的经济方法
如果不是不可能的话，在沉积期间精确地手动控制膜厚度是困难的。有时使用带有一滴油的白色瓷砖来粗略估计碳的涂层厚度，但是当需要重复的，可再现的涂层时不能使用。使用仪器设置也不是一种准确的方法，因为真空水平（用于溅射）和时间（用于蒸发）是非常关键的参数。高分辨率厚度监视器提供涂层厚度的可重复性，消除猜测并且方便。使用加工因子可以精确测量薄膜。
MTM-10高分辨率厚度监测仪适用于任何Cressington溅射和碳涂层系统。

系统包括：

MTM-10控制器盒

BNC电缆/ BNC弯头

振荡器盒

CS-108真空馈通，带BNC / SMB连接器和集成O形密封圈

水晶支架电缆7“/ 108mm
水晶支架，M4螺钉尺寸ø19x20mm高。水晶面积ø6mm

 

 

 

MTM-20高分辨率厚度控制器

MTM-20高分辨率厚度控制器专为Cressington溅射涂布机系统设计，与108auto，108auto / SE和208HR溅射涂布机系统完全兼容。

 

 

MTM-10高分辨率厚度监视器和
MTM-20高分辨率厚度监视器规格
一般规格：基于微处理器的4位数显示，按钮为零
6MHz晶振，带有寿命检查
每秒5次更新率
厚度范围：0 999.9nm（POS / NEG）
解析度：0.1nm用于金或碳
密度范围：30.00g / CC 0.50
工具系数范围：0.25 - 8.0
真空馈通：CS 108；直径10mm，板材/法兰厚度为9mm。
水晶架：不锈钢ø19x20mm。M4螺纹孔，用于安装，1/2“尺寸的晶体
水晶架电缆：Mini-SMB，母/母之间的水晶支架和CS-108真空穿通装置
处理器功能：对于MTM-10和MTM20，四组值可以存储在密度下的存储器中，四组可以存储在工具下
MTM-20控制器：仅限MTM-20：可编程厚度端接功能，带终端接口电缆，108自动，208HR和DC-100
终端设备范围为0-999.9nm
MTM-10/20盒尺寸210 x 160 x 77毫米（8.27英寸x 6.3英寸x 3.03英寸）
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