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确保厚度控制的经济方法
如果不是不可能的话,在沉积期间精确地手动控制膜厚度是困难的。有时使用带有一滴油的白色瓷砖来粗略估计碳的涂层厚度,但是当需要重复的,可再现的涂层时不能使用。使用仪器设置也不是一种准确的方法,因为真空水平(用于溅射)和时间(用于蒸发)是非常关键的参数。高分辨率厚度监视器提供涂层厚度的可重复性,消除猜测并且方便。使用加工因子可以精确测量薄膜。
MTM-10高分辨率厚度监测仪适用于任何Cressington溅射和碳涂层系统。
系统包括:
MTM-10控制器盒
BNC电缆/ BNC弯头
振荡器盒
CS-108真空馈通,带BNC / SMB连接器和集成O形密封圈
水晶支架电缆7“/ 108mm
水晶支架,M4螺钉尺寸ø19x20mm高。水晶面积ø6mm
MTM-20高分辨率厚度控制器专为Cressington溅射涂布机系统设计,与108auto,108auto / SE和208HR溅射涂布机系统完全兼容。
MTM-10高分辨率厚度监视器和 MTM-20高分辨率厚度监视器规格 | |
一般规格: | 基于微处理器的4位数显示,按钮为零 6MHz晶振,带有寿命检查 每秒5次更新率 |
厚度范围: | 0 999.9nm(POS / NEG) |
解析度: | 0.1nm用于金或碳 |
密度范围: | 30.00g / CC 0.50 |
工具系数范围: | 0.25 - 8.0 |
真空馈通: | CS 108;直径10mm,板材/法兰厚度为9mm。 |
水晶架: | 不锈钢ø19x20mm。M4螺纹孔,用于安装,1/2“尺寸的晶体 |
水晶架电缆: | Mini-SMB,母/母之间的水晶支架和CS-108真空穿通装置 |
处理器功能: | 对于MTM-10和MTM20,四组值可以存储在密度下的存储器中,四组可以存储在工具下 |
MTM-20控制器: | 仅限MTM-20:可编程厚度端接功能,带终端接口电缆,108自动,208HR和DC-100 终端设备范围为0-999.9nm |
MTM-10/20盒尺寸 | 210 x 160 x 77毫米(8.27英寸x 6.3英寸x 3.03英寸) |
产品相关关键字: 膜厚监测仪 薄膜厚度监测仪 MTM-10薄膜厚度监测仪 MTM-20膜厚测试仪 MTM-10 膜厚监测仪 |