设为主页 加入收藏 联系我们

当前位置:

首 页 > 产品中心 > 匀胶旋涂仪650MZ
目录导航 Directory

产品展示Products

匀胶旋涂仪650MZ

型    号:WS--650MZ-23NPPB/IND
报    价: 市场价:
分享到:

MYCRO新近推出超强功能的新型控制器匀胶旋涂仪650MZ,在原有WS-400Bz
型基础上,增加了电脑交互功能,集成旋涂分析软件SPIN 3000,可以通过电脑实时分析和控制实验结果!

匀胶旋涂仪650MZ产品概述:

匀胶旋涂仪650MZ(英文名:Spin Coater)适合半导体硅片的匀胶镀膜 

详细介绍:匀胶机(英文名:Spin Coater& Spin Processor) 
行业俗称:匀胶台、匀胶机、旋涂仪、涂胶机、镀膜机、涂层机
型号:650Mz-23NPP/OND
一、产品概述:
    匀胶旋涂仪650MZ适应于半导体、化工材料、硅片、晶片、基片、导电玻璃等工艺,制版的表面涂覆。MYCRO的MSC系列匀胶机具有稳定的转速和快速的启动,可以保证半导体中胶厚度的*性和均匀性,这正是650S 型匀胶机的特点。
二、匀胶机工作原理:
匀胶机(spin coater)的工作原理是高速旋转基片,利用离心力使滴在基片上的胶液均匀的涂在基片上,甩胶机常用于各种溶胶凝胶(Sol-Gel)实验中的薄膜制作,厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同,也和旋转速度及时间有关。
三、匀胶机主要性能指标:
1、腔体尺寸:9.5英寸 (241 毫米);
2、Wafer芯片尺寸:10-150mm直径的材料,方片125x125mm,小于10mm提供3mm的转接托盘);
3、转动速度:0-12,000rpm, 
4、旋涂加速度:0-30000rpm/sec(空载);
5、马达旋涂转速:稳定性能误差 < ±1%;
6、转速调节精度:<0.2rpm,重复性< 0.2rpm;
7、工艺时间设定:1-5999.9 sec/step 0.1 精度;
8、匀胶机材质:NPP天然聚丙烯材质,抗腐蚀性和抗化学物性,美观大方;
9、高精度数码控制器:PLC控制,设置点精度小于0.006%。
10、程序控制:可存储20个程序段,每个程序段可以设置51步不同的速度状态;
11、分辨率:分辨率小于0.5转/分,可重复性小于±0.5转/分,美国国家标准技术研究院(NIST)认证过的,并且无需再校准!]
12、配套真空泵系统:无油型 220~240伏交流,50/60赫兹;
13、配套分析软件:SPIN3000操作分析软件;
14、*水平测试仪;  
15、两袋密封圈;  
16、废液接收单元;
17、IND构造为湿站系统设计,带远程控制;;

可选配置:
OND构造为手套箱系统设计,带远程控制;
UD自动滴胶装置:UD-2带倒吸装置的多喷嘴可编程针筒,
EBR(Edge Bead Remover):晶圆去边,机械装置;

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

产品相关关键字: 匀胶机 旋涂仪 涂膜机 WS-650MZ-23NPPB WS-650MZ-8NPPB

留言框

  • 产品:

  • 您的单位:

  • 您的姓名:

  • 联系电话:

  • 常用邮箱:

  • 省份:

  • 详细地址:

  • 补充说明:

  • 验证码:

    请输入计算结果(填写阿拉伯数字),如:三加四=7
电话:400-8800298
点击这里给我发消息

 
扫一扫访问手机站扫一扫访问手机站
访问手机站