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TC-Wafer校准仪

简要描述:TC-Wafer校准仪是一款专注晶圆温场均匀性测量的仪器,适配市场上大多数主流厂家生产的RTP设备。

  • 产品型号:TC-20
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2024-05-31
  • 访  问  量:106

详细介绍

 TC-Wafer校准仪,是一款专注晶圆温场均匀性测量的仪器。

适配市场上大多数主流厂家生产的RTP设备。
特殊情况可定制以适配。
 产品特点(部分)
1.测温准确 温度偏差在±1.1℃以内、采集周期为200ms,能准确测量晶圆温厂均匀性;
2.使用便捷 仪器集成度高,即插即用。测试记录完整数 据,并能自动生成测试报告,
支持U盘、蓝牙、无线网 络等多种方式导出数据和报告;
3.显示直观 最多支持20路实时测量(20路以上可定制),显示实时点位图及温度分布图,
可在使用过程中实时观察各点温度变化;
4.功能强大 10000条历史数据存储量,能以图表形式调阅历史温度和均匀性数据。
可做同一台设备不同时间段、以及不同设备同一配方的数据对比;
5.便携易维护 便携一体化设计,配备磁吸支架可贴靠于RTP表面, Type-C接口
65W速充,可迅速更换TC- wafer。
 TC-Wafer校准仪应用功能:
1.半导体制造工艺调校
2.RTP设备的测试、验证
3.TC-Wafer的测试、验证
4.相 关 晶 圆 热 处 理 设 备 的 测 试 、 验 证 , 如
CVD,PVD,Photo,等等;

5.使用范围:室温~ 1200℃(更高温可定制)

 

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