Anric原子层沉积系统

占地面积小（~ 15 英寸 3 或 38.1 厘米 3：宽：14 英寸（35.5 厘米）x 深：15 英寸（38.1 厘米）x 高：14.5 英寸（36.5 厘米））适合手套箱可容纳来自 2“ x 2" x 3“ 或四个 2" 圆形/方形晶圆的样品（可定制卡盘/8 x 2“ 盒）一种前驱体和一种反反应物（也提供我们的 4 端口选项：3 个前驱体和 1 个反反应物或 2 个前驱体和 2 个反反应物）新 – AT 200M Plus，配备 13.56MHz、80W 空心阴极等离子体源（1 个标准 MFC 和最多 2 个可用）。带有金属密封线的半导体级组件通风前体外壳高温兼容、快速脉冲的 ALD 阀，带有用于集成惰性气体吹扫的超快速 MFC前体（最高 180°C），歧管，腔室加热以确保无冷凝。*的 PLC 驱动用户界面（可通过 Windows 进行远程以太网控制）不锈钢腔体可加热至 300°C（可选卡盘可达 450 °C 或更高）特征占地面积小（~ 15 in3 或 38.1 cm3），可轻松安装在手套箱中或 SEM/TEM 蒸发器旁边。一个前体和一个反反应物（可扩展到 4 个）可容纳来自 2“ x 2" x 3“ 或四个 2" 圆形/方形晶圆的样品（可定制卡盘/8 x 2“ 盒）通风前体外壳高温兼容、快速脉冲的 ALD 阀，带有用于集成惰性气体吹扫的超快速 MFC – 标准配置金属密封线前体（最高 180°C），歧管，腔室加热以确保无冷凝。不锈钢腔室可加热至 300°C（可选择 450 °C 或更高）带集成 PLC 控制器的 5 英寸显示器（无需 PC）规格室温从室温到 300°C ± 1 °C前驱体温度从室温到 180°C ± 2°C（带加热夹套）市场上占地面积最小（1.6 平方英尺），台式安装，洁净室兼容（与我们大型系统的所有安全联锁装置），也适合手套箱。系统维护简单，公用事业和前体使用量低。腔室容积小非常快的循环能力。完整的硬件和软件联锁，即使在多用户环境中也能安全运行选项· 无需集成手套箱 [适合手套箱（或连接到手套箱的侧面）· 定制卡盘/压板（方形、圆形、双基板、篮子、小件、较厚的基板、8 个晶圆盒）。· 新 – AT 200M Plus，配备 13.56MHz、80W 空心阴极等离子体源（1 个标准 MFC 和最多 2 个可用）。· 新产品：温度补偿 QCM· 新：450 °C（或更高）卡盘· ATOzone – 臭氧发生器（某些薄膜需要：Pt、Ir、SiO2、MoO2、60°C 以下的高质量 Al2O3、高质量 HfO2）· 可选 – 臭氧安全监测器，可实时检测环境臭氧气体· 4 端口选项（例如：2 个加热前驱体、1 个未加热前驱体、1 个反反应物）· 新 – 6 端口选项（例如：2 个加热前驱体、2 个未加热前驱体、2 个 MFC 控制的反反应物）· 新 – MLD 选项· 粉末涂料滚筒外部控制 – PC/软件链接（允许远程编程和运行）包括可通风前体柜