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椭圆偏振光谱（SE）是一种成熟的光学技术，用于以非破坏性和非接触方式表征块状材料，薄膜，涂层，表面层和嵌入层。对于常规和晶圆厂加工质量控制，必须有一个自动盒式装卸机。为此，我们开发了一种低成本解决方案，可将晶圆尺寸从2“扩展到8”（台式），将塔式尺寸扩展到12“。用户甚至可以为每个插槽定义配方，从而为整个盒式磁带测量定义配方。
红外光谱椭圆仪（IRSE）可以表征材料的结构（厚度，界面，表面粗糙度，污染），光学（光学常数），电（导电性）以及化学信息。
光谱椭偏仪可配置从DUV到NIR的波长范围。DUV范围可用于测量超薄膜，如纳米厚度范围。比如硅晶片上的原生氧化物，其通常仅为约1至2nm厚。当用户需要测量许多材料的带隙时，深紫外光谱椭偏仪也是*的。可见或近红外范围用于测量相对厚或非常厚的涂层。
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