产品分类
相关文章
远程等离子清洁的原理 远程等离子源需安装在要被清洁的真空腔室上,控制器向远程离子源提供射频能量。射频电磁场能激发等离子体,分解输入气体而产生氧或氢的活性基,活性基会扩散到下游的真空腔室,并与其中的污染物发生化学反应,反应产物能轻易地被抽走。远程等离子清洗机可同时清洁真空系统和样品。
美国PIE出品的EM远程等离子清洁仪,广泛用于SEM扫描电镜,FIB聚焦离子束双束电镜,TEM透射电镜,XPS_X射线光电子能谱分析仪,ALD原子层沉积系统,CD-SEM, EBR, EBI, EUVL和其它高真空系统,可同时清洁真空腔室和样品!
专为去除SEM & TEM样品的碳氢污染而设计。*的双清洗模式(immersion和downstream)能够处理各种不同的样品,从严重污染的电子光学孔径光阑到各种脆弱