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EZ Imprinting推出了一款台式独立NIL纳米压印PL系列系统:PL系列400/600. EZImprinting是一种超高产率( 99%)纳米压印光刻系统,带有低于10纳米的分辨率和一步自动释放功能。 该平台提供具有微定位夹具的机械平台,用于安装纳米压印室,UV固化源和对准显微镜。 它即可以作为纳米压印系统,也可以作为传统的掩模对准器,同时提供可编程的自动控制功能。