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反应离子刻蚀机PlasmaStar 100仪器介绍 PlasmaSTAR®系列等离子处理系统适合处理所有的材料,拥有多种腔室和电极配置,可满足不同的等离子工艺和基片尺寸。占地面积小,用于各种等离子工艺的模块化腔室和电极配置。此外,触摸屏计算机控制,多级程序控制和组件控制,操作简单。PlasmaSTAR®模块化腔室和电极组件是该系统的*功能。
一、美国PIE等离子清洗机应用 等离子清洗机清除样品表面的污染物,去除光阻胶:产生表面活性功能组; 清洗提高材料表面亲水性及疏水性,清洗生物芯片、微流控芯片,PDMS; 表面活化:渲染表面的亲水性或疏水性,键合和沉积前的表面预处理 表面聚合:沉积带官能分子团的聚合物,移植聚合物到活化后的材料表面; 表面改性:在材料表面产生官能分子团,高分子材料表面修饰; 去除表面残留微生物,医疗器械的消毒和