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美国PIE出品的EM远程等离子清洁仪,广泛用于SEM扫描电镜,FIB聚焦离子束双束电镜,TEM透射电镜,XPS_X射线光电子能谱分析仪,ALD原子层沉积系统,CD-SEM, EBR, EBI, EUVL和其它高真空系统,可同时清洁真空腔室和样品!
品牌:PIE 型号:Tergeo EM Tergeo EM型样品杆清洁等离子清洁仪 *的双清洗模式(immersion和downstream)能够处理各种不同的样品,从严重污染的电子光学孔径光阑到各种脆弱易损样品,如石墨烯、碳纳米管、类金刚石碳膜以及多孔碳支持膜铜网上的TEM样品。石英样品托板上的孔洞可以安装标准SEM样品托。特别设计的适配器可以清洁不同厂家的TEM样品杆。
专为去除SEM & TEM样品的碳氢污染而设计。*的双清洗模式(immersion和downstream)能够处理各种不同的样品,从严重污染的电子光学孔径光阑到各种脆弱
Tergeo EM型SEM及TEM样品/样品杆清洁等离子清洁仪 美国PIE Scientific专注研发*实验室用等离子仪器,用于SEM/TEM样品清洁、光刻胶蚀刻、等离子体增强沉积、表面处理与活化。我们的宗旨是:将半导体和核工程研究中开发的等离子技术集成到经济实用的实验室用等离子仪器。