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德国进口:polos350热板,适用于软烘烤和硬烘烤工艺,以及光刻胶、环氧树脂或 任何其他需要精确温度控制的工作的固化。
德国进口:polos200热板,适用于软烘烤和硬烘烤工艺,以及光刻胶、环氧树脂或任何其他需要精确温度控制的工作的固化的加热板。
德国osiris热板:HOTPLATES,专为研发和小批量生产而设计,可适用最大 200/300 或 450mm的基材,具有真空通道用于基板固定。
精密加热板的顶板由高导热铝合金制成,具有光滑、易于护理的阳极氧化表面。 电长期加热的设计使角落和边缘的温度非常均匀。
加热台等用途可在光刻工艺中的涂胶后的软烘,暴光后烘,显影后的坚膜,磨片粘片熔腊等,它采用整体铸造,加热板作为加热体,增强了设备的安全性。采用单片机作为控制核心部件,有*精准的控温精度,紧凑美观。该设备对一些温度敏感材料(如晶体、半导体、陶瓷等)进行加热和装卡尤为适用。
UNIXX系列单面烘烤加热台,HT20e设计用于基材的单面烘烤,用于预烘烤和后烘烤或脱水烘烤过程。尤其适用于粘合剂底漆(HMDS;六甲基二硅氮烷),可用于蒸汽底漆或真空干燥的热板模块。带有电子可编程升降针的烘烤模块,配有触摸屏,便于操作。 软件提供了简单方便的过程控制和配方创建。 界面简单易于使用,可随时控制流程。这些温度模块有台式安装式,塔式安装式或独立式供选择。