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UltraT进口湿法刻蚀和剥离系统专为满足当今晶圆、光掩模和基板的前沿应用的特殊工艺需求而设计。这款高效的蚀刻和清洁系统CESx124、126、128或133是理想选择,可满足不同大小尺寸的晶片、光掩模和衬底,不论是从小直径还是非常大直径。
自1985年起,Laurell公司向遍布所有的生物化工和半导体材料科研领域的实验室提供表面涂敷工艺的解决方案,目前,*有超过15000套系统正在安全运行。WS-1000M Laurell-WS半导体湿法刻蚀系列,全白色聚丙烯构造,可内置任何Laurell公司的旋涂机及显影机,排放简便的入氮口和DI喷头,如果需要单工的系统,可选择WS-1000湿法刻蚀设备,WS-1000系列旋转处理湿法设备可以
自1985年起,Laurell 湿法刻蚀设备是生物化工和半导体材料科研领域的实验室提供表面涂敷工艺的解决方案,目前,*有超过15000套系统正在安全运行。
Laurell-EDC匀胶显影机系列匀胶显影系统适用于半导体前段制程的匀胶,显影,刻蚀,冲洗,甩干等工艺,可通过程序控制多路试剂的显影和湿法腐蚀,我们有着近三十年半导体湿法工艺的经验积累,通过对各路试剂注射的控制,对氮气和去离子水综合应用,能够完整实现样片的干进干出。是当今*和经济的湿法处理解决方案。
EDC湿法刻蚀显影机适应于半导体、化工材料、硅片、晶片、基片、导电玻璃等工艺,制版的表面显影。