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MYCRO的SCE-110系列Anatech ICP等离子刻蚀机是用于等离子体灰化工艺的Z有效仪器。SCE-110等离子灰化机用于残留无机物的扫描电镜（SEM）和或化学分析之前的有机物去除。适用设备如：SCE-104, 106, 108。
Harrick小型等离子清洗机HP是一种小型化、超清洗设备。 Harrick等离子体表面处理仪采用气体作为清洗介质，有效地避免了因液体清洗介质对被清洗物带来的二次污染。 Harrick 等离子体表面处理仪外接一台真空非破坏性的泵，工作时等离子体表面处理仪的清洗腔中的等离子体轻柔冲刷被清洗物的表面。
Harrick 气体流量控制器主要应用于处理气体的精密控制、在等离子清洗过程中气体流混合和真空舱内压力监控。
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