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SM200系列光学薄膜厚度测量仪是一款利用利用薄膜反射光干涉原理研制而成的自动薄膜厚度测绘仪，由测绘主机、测绘平台、Y型光纤及上位机软件搭建而成，核心器件采用高分辨率、高灵敏度光谱仪结合算法技术。
品牌：希腊ThetaMetrisis 名词：膜厚仪 膜厚仪、测厚仪、干涉仪、厚度测量仪 干涉仪是利用干涉原理测量光程之差从而测定有关物理量的光学仪器。两束相干光间光程差的任何变化会非常灵敏地导致干涉条纹的移动，而某一束相干光的光程变化是由它所通过的几何路程或介质折射率的变化引起，所以通过干涉条纹的移动变化可测量几何长度或折射率的微小改变量，从而测得与此有关的其他物理量。
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